Mục tiêu gr2 titan

1. Định nghĩa và đặc điểm của mục tiêu titan

Các mục tiêu Titan là các vật liệu chuyên dụng chủ yếu được sử dụng trong lắng đọng hơi vật lý (PVD) và kỹ thuật phun từ tính. Trong số này, công nghệ PVD được sử dụng rộng rãi trong việc sản xuất lớp phủ tiên tiến, trong khi phép thuật Magnetron thường được sử dụng trong sản xuất chip bán dẫn và các thành phần điện tử. Các mục tiêu titan được sản xuất tinh xảo với hợp kim Titanium hoặc Titan nguyên chất làm thành phần chính. Những lợi ích độc đáo của nó bao gồm độ cứng và mật độ cực kỳ cao, cũng như khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, làm cho nó ổn định trong nhiều môi trường khác nhau. Ngoài ra, các mục tiêu Titanium có độ dẫn nhiệt tốt và độ tinh khiết cao, cung cấp hiệu suất tuyệt vời cho công nghệ màng mỏng.

Titanium Target là một vật liệu phiến hợp kim Titan hoặc Titanium tinh khiết được sản xuất bởi quá trình đúc đầu tư nóng chảy trong chân không. Đặc điểm quan trọng nhất của nó là độ tinh khiết cao và mật độ tuyệt vời. Mật độ của mục tiêu titan chất lượng cao có thể đạt hơn 99,5%và các yếu tố tạp chất rất thấp, chẳng hạn như Fe, Si, O, N, H và các yếu tố khác ít hơn 100 ppm, làm cho mục tiêu titan trong các tính chất vật lý và tính chất hóa học nhiều hơn so với công nghiệp Titanium.

Ngoài ra, mục tiêu titan có tính đồng nhất tuyệt vời. Trong quá trình chuẩn bị, nhiều phương pháp điều trị tan chảy và dập tắt được sử dụng để cải thiện hiệu quả tính đồng nhất của tổ chức của mục tiêu titan. Bề mặt của mục tiêu là mịn màng và sạch sẽ, và tổ chức bên trong dày đặc và hạt mịn, đảm bảo tính đồng nhất của lớp lắng đọng. Titanium Target cũng có độ dẫn nhiệt tuyệt vời và ứng suất nhiệt nhỏ, do đó không dễ để tạo ra các vết nứt, có thể chịu được quá trình phun nước hoặc bay hơi công suất cao. Ngoài ra, sức mạnh cơ học cao của các mục tiêu titan làm tăng hiệu quả tuổi thọ của họ và giảm tổn thất mục tiêu, do đó cải thiện hiệu suất và giá trị tổng thể của chúng.

2. Quy trình xác định mục tiêu Titanium

Lựa chọn nguyên liệu thô:Vì các mục tiêu titan chủ yếu được sử dụng trong quá trình phủ, nên việc chọn các khối titan tinh khiết 99,99% làm nguyên liệu thô. Một nguyên liệu thô tốt nên không có các khiếm khuyết xuất hiện rõ ràng như quá trình oxy hóa, tạp chất, vết nứt, vv để đảm bảo rằng nguyên liệu thô có kết cấu đồng đều và độ tinh khiết cao.

Tan chảy: Trong giai đoạn nóng chảy, lò kết hợp hồ quang chân không được sử dụng để làm nóng nguyên liệu thô Titanium đến hơn 1.668 độ C (điểm nóng chảy của titan) để làm tan chảy hoàn toàn nguyên liệu thô. Để ngăn chặn sự pha trộn của các tạp chất khí, toàn bộ quá trình cần được thực hiện trong môi trường chân không cao. Một số ứng dụng cụ thể có thể yêu cầu bảo vệ khí (ví dụ Argon) để bảo vệ mục tiêu khỏi quá trình oxy hóa.

Rèn:

Trong giai đoạn này, chất lỏng titan được đổ vào khuôn để nguội và hóa rắn, sau đó được ép bằng lực đồng đều bằng cách sử dụng máy ép thủy lực. Trong quá trình rèn, thường có các bước sưởi ấm và giữ vì một nhiệt độ nhất định phải được duy trì để giữ cho vật liệu dễ uốn.

Roughing:

Ở giai đoạn này, mục tiêu lần đầu tiên được gia công theo hình dạng và kích thước áp dụng. Điều này có thể bao gồm việc sử dụng máy tiện CNC hoặc máy phay CNC để cắt chính xác và định hình mục tiêu.

Điều trị nhiệt:

Trong hầu hết các trường hợp, các mục tiêu yêu cầu xử lý nhiệt, chẳng hạn như xử lý giải pháp hoặc ủ, trong phạm vi 800-1000 trong vài giờ. Mục đích của các phương pháp điều trị này là để cải thiện cấu trúc vi mô của vật liệu và tăng cường sức mạnh và độ bền của nó.

Hoàn thiện bề mặt:

Sau khi điều trị ở trên, mục tiêu cần phải trải qua quá trình hoàn thiện bề mặt, chẳng hạn như mài và đánh bóng. Đầu tiên, một khu vực rộng lớn có lẽ là mặt đất với giấy mài mòn, và sau đó sự thô thiển của giấy mài mòn dần dần giảm để mài mịn.

Kiểm tra chất lượng:

Ở giai đoạn này, các mục tiêu titan phải chịu một loạt các kiểm tra chất lượng, bao gồm các phép đo UT (phát hiện lỗ hổng siêu âm), kiểm tra XRD (nhiễu xạ tia X) để xác nhận cấu trúc và xác định độ tinh khiết hóa học bằng các phân tích ICP-AES hoặc LECO.

Quyền anh và vận chuyển:Cuối cùng, mục tiêu titan cần được gói gọn trong môi trường không có bụi, thường sử dụng bao bì chân không, để duy trì độ tinh khiết của sản phẩm. Sau đó, chúng được đặt trong các hộp được thiết kế đặc biệt để bảo vệ sản phẩm khỏi thiệt hại trong quá trình vận chuyển.

Chú phổ biến: Mục tiêu GR2 Titanium, Nhà sản xuất mục tiêu, nhà cung cấp của Trung Quốc Gr2 Titan